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J-GLOBAL ID：201302287649515788   Reference number：13A1660144

Fabrication of Optically Transparent PDMS Artificial Lotus Leaf Film Using Underexposed and Underbaked Photoresist Mold

アンダー露光でアンダーベーキングのフォトレジストモールドを用いた,光学的に透明なPDMS人工的ハスの葉状膜の作製

Author (3)： YOON Youngsam (Univ. Texas at Dallas, TX, USA) ,  LEE Dong-Weon (Chonnam National Univ., Gwangju, KOR) ,  LEE Jeong-Bong (Univ. Texas at Dallas, TX, USA)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 22  Issue： 5  Page： 1073-1080  Publication year： Oct. 2013 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： polydimethylsiloxane ,  *hydrophobic ,  transparent conducting thin films ,  *photoresist ,  solution velocity ,  development(photography) ,  *nanostructure ,  *polymer thin film ,  aliphatic fluorine compound ,  optical transmission ,  exposure(photography) ,  *photolithography ,  pattern formation
Semi thesaurus term： super-hydrophobic property ,  fluorocarbon ,  露光不足 ,  soft lithography

JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (9)： 露光 ,  ベーキング ,  フォトレジスト ,  モールド ,  光学 ,  PDMS ,  人工 ,  ハス ,  作製