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J-GLOBAL ID：201302289112429322   Reference number：13A0003774

Preparation of TiO₂ Coating on Ti by Microwave Plasma CVD

マイクロ波プラズマCVD法によるチタンへのチタニアコーティング

Author (6)： OKUDAIRA YASUHISA (東北大学大学院歯学研究科) ,  TO YO (東北大学金属材料研究所) ,  GOTO TAKASHI (東北大学金属材料研究所) ,  MARUMORI RYOTARO (東北大学大学院歯学研究科) ,  YODA MASANOBU (東北大学大学院歯学研究科) ,  SASAKI KEIICHI (東北大学大学院歯学研究科)
Material： 粉体および粉末冶金  (Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy)
Volume： 59  Issue： 7  Page： 425-429 (J-STAGE)  Publication year： 2012 
JST Material Number： F0691A  ISSN： 0532-8799  CODEN： FOFUA2  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *titanium oxide ,  *plasma CVD ,  white ,  adhesive strength ,  *covering ,  titanium

JST classification (1)： Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Reference (9)：

• 1) R. Marumori, T. Kimura, T. Goto, M. Yoda, and K. Kimura: "Preparation of TiO₂ Coating on Dental Metal Materials by Plasma CVD", J. Jpn. Soc. Powder Powder Metallurgy, 55 (2008) 331-335.
• 2) M. Konuma: Purazumatoseimakunokiso, The Nikkan Kogyo Shimbun, (2005).
• 3) Y. You, A. Ito, R. Tu, and T. Goto: "Low temperature deposition of α-Al₂O₃ films by laser chemical vapor deposition using a diode laser", Applied Surface Science, 256 (2010) 3906-3911.
• 4) H. Masumoto, T. Goto, Y. Honda, O. Suzuki, and K. Sasaki: "Preparation of titania films on implant titanium by electron cyclotron resonance plasma oxidation", Key Eng. Mater., 330-332 (2007) 565-568.
• 5) The Ceramic Society of Japan: Ceramic Engineering Handbook Application Section, Gihodosyuppan, (2002) 1283.

Terms in the title (2)： マイクロ波プラズマCVD ,  チタン