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J-GLOBAL ID:201303006457092659
低速陽電子輝度増強用透過型減速材の製造方法、低速陽電子輝度増強用透過型減速材、低速陽電子ビームの輝度増強方法、高輝度低速陽電子ビーム発生装置および陽電子顕微鏡
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
久保田 芳譽
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2007150900
Publication number (International publication number):2008304276
Patent number:4984063
Application date: Jun. 06, 2007
Publication date: Dec. 18, 2008
Claim (excerpt):
【請求項1】(1)厚さが100nm〜200nmであるニッケル薄膜を、水素ガス雰囲気中で700°C〜800°Cの温度範囲で熱処理し、次いで(2)水素ガス圧が0.001333 Pa(10-5Torr)以上、0.013332 Pa(10-4 Torr)未満である水素ガス雰囲気中で、該水素ガスを電子衝撃することにより生成した水素原子および/または水素イオンで、前記熱処理をしたニッケル薄膜を衝撃して、該ニッケル薄膜の表面を清浄にすることを特徴とする低速陽電子輝度増強用透過型減速材の製造方法。
IPC (4):
G21K 3/00 ( 200 6.01)
, G21K 1/00 ( 200 6.01)
, G21K 5/04 ( 200 6.01)
, H01J 37/06 ( 200 6.01)
FI (5):
G21K 3/00 M
, G21K 1/00 E
, G21K 3/00 Y
, G21K 5/04 M
, H01J 37/06 A
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (11)
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低速陽電子ビーム装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-253129
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所
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陽電子減速装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-365558
Applicant:工業技術院長, 鈴木良一, 大平俊行
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陽電子減速装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-274706
Applicant:日本電気株式会社
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陽電子分析顕微鏡および陽電子ビームを用いた測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-151844
Applicant:独立行政法人理化学研究所
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元素分析方法及び元素分析装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-318185
Applicant:住友重機械工業株式会社
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固体表面観察装置と固体表面観察方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-198841
Applicant:キヤノン株式会社
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単色陽電子発生用減速材およびその処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-028285
Applicant:新日本製鐵株式会社
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低速陽電子ビーム発生装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-063610
Applicant:住友重機械工業株式会社
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陽電子減速補強装置及び陽電子減速装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-304350
Applicant:日本電気株式会社
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欠陥検査装置および陽電子線応用装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-135265
Applicant:株式会社日立製作所, 株式会社日立ハイテクノロジーズ
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陽電子を利用した欠陥評価装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-251905
Applicant:株式会社半導体理工学研究センター
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