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J-GLOBAL ID：201303017649575698
近接場光学顕微鏡の信号光測定システム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
特許業務法人京都国際特許事務所
, 小林 良平
, 市岡 牧子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008241151
Publication number (International publication number)：2010071871
Patent number：5270280
Application date： Sep. 19, 2008
Publication date： Apr. 02, 2010
Claim (excerpt)：
【請求項1】 先端が尖鋭なプローブを試料上で走査しつつ、前記プローブ近傍に生成される近接場光によって前記試料から放射される信号光を検出し当該試料のイメージングを行う近接場光学顕微鏡の信号光測定システムにおいて、
a) 前記プローブと前記試料との相対距離を周期的に変化させる振動付与機構と、
b) 前記プローブ近傍に近接場光を生成させるための光を照射する光照射機構と、
c) 前記プローブと前記試料との相対距離の変化に同期して、前記光照射機構が照射する光をON/OFFするためのON/OFF信号を、前記相対距離が異なる複数のタイミングで出力する光強度変調機構と、
d) 異なる複数の出力タイミングで前記試料から放射される信号光をそれぞれ測定することにより、前記相対距離が異なる複数のスペクトルを求め、該複数のスペクトルの形状の変化から該試料の同定を行う信号光測定機構と、
を備えることを特徴とする近接場光学顕微鏡の信号光測定システム。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
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増強ナノ分光学的走査のための方法および装置
Gazette classification：公表公報
Application number：特願2006-509733
Applicant：ブイピーホールディング,エルエルシー
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走査型近視野原子間力顕微鏡
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-054093
Applicant：セイコー電子工業株式会社
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走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードの測定方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-039085
Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
Article cited by the Patent：
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