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J-GLOBAL ID：201303027390154031
昇温脱離分析方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
, 小池 勇三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012107329
Publication number (International publication number)：2013234911
Application date： May. 09, 2012
Publication date： Nov. 21, 2013
Summary：
【課題】昇温脱離分析における検出感度が向上できるようにする。【解決手段】真空状態のチャンバ101内で、赤外線ランプ103で試料載置台104を加熱することで、固体試料102を加熱し、固体試料102に含まれている物質を脱離させる。次に、真空状態とされているチャンバ101内で、固体試料102より脱離した脱離物質を、冷却部121により冷却する。次に、真空状態とされているチャンバ101内で、冷却部121により冷却された物質をイオン化部108でイオン化する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
真空雰囲気で測定対象の固体試料を加熱して前記固体試料に含まれている物質を脱離させて放出させる第1ステップと、
真空雰囲気で放出された前記物質を冷却する第2ステップと、
真空雰囲気で冷却された前記物質をイオン化してイオンとする第3ステップと、
真空雰囲気でイオン化された前記イオンの質量分析を行う第4ステップと
を少なくとも備えることを特徴とする昇温脱離分析方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (6)：
2G040AB11
, 2G040BA25
, 2G040CA11
, 2G040CA22
, 2G040GC01
, 2G040ZA01
