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J-GLOBAL ID:201303049090066312

熱物性解析装置及び熱物性解析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 小谷 悦司 ,  小谷 昌崇 ,  村松 敏郎
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2009155124
Publication number (International publication number):2011012991
Patent number:5149874
Application date: Jun. 30, 2009
Publication date: Jan. 20, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 被測定物表面の測定部位に光を照射し、その反射光に基づいて前記被測定物の熱物性についての解析を行う熱物性解析装置であって、 前記測定部位を加熱するための加熱光を放射する加熱光放射手段と、 前記加熱光を前記測定部位まで導光する第1の光学系と、 前記測定部位の温度変化を検出するための検出光を放射する検出光放射手段と、 前記検出光を前記測定部位まで導光する第2の光学系と、 前記測定部位からの前記検出光の反射光を受光する受光部を有し、この受光部に入射した前記検出光の反射光の強度を測定する検出光測定手段と、 前記測定部位からの前記検出光の反射光を前記検出光測定手段の受光部まで導光する第3の光学系とを備え、 前記第2の光学系が、前記測定部位で焦点を結ぶように前記検出光を集光する検出光用集光部材を有し、 前記第1の光学系は、前記測定部位において前記加熱光が焦点を結ぶように集光する場合に比べ前記第3の光学系に導光されて前記受光部に到達する加熱光の反射光の強度が小さくなるように前記測定部位において焦点をぼかし且つその照射範囲に前記検出光の照射範囲が含まれるように加熱光を集光する加熱用集光部材を有すると共に、前記加熱用集光部材により集光された加熱光を前記測定部位に照射し、 前記加熱用集光部材は、前記測定部位からの前記加熱光の反射光が前記第3の光学系において前記受光部よりも上流側で焦点を結ぶように構成される、又は前記測定部位からの前記加熱光の反射光が前記第3の光学系の上流側で焦点を結ぶと共に前記第3の光学系において前記受光部に向かって発散するように構成されることを特徴とする熱物性解析装置。
IPC (1):
G01N 25/18 ( 200 6.01)
FI (1):
G01N 25/18 H
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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