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J-GLOBAL ID:201303058862531414
感光性樹脂組成物、硬化物及びスペーサー
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012167947
Publication number (International publication number):2013050712
Application date: Jul. 30, 2012
Publication date: Mar. 14, 2013
Summary:
【課題】 弾性回復特性と密着性を両立し、微細なスペーサーを形成することができる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、ラジカルトラップ剤(C)、光重合開始剤(D)および金属元素含有化合物(E)を必須成分として含有し、(C)の最低空軌道と(D)の最高被占軌道とのエネルギー差が11.5eV以下であることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレート(B)、ラジカルトラップ剤(C)、光重合開始剤(D)および金属元素含有化合物(E)を必須成分として含有し、(C)の最低空軌道と(D)の最高被占軌道とのエネルギー差が11.5eV以下であることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物。
IPC (2):
FI (3):
G03F7/004 501
, G03F7/027 502
, G03F7/027 515
F-Term (26):
2H125AC21
, 2H125AC35
, 2H125AC36
, 2H125AC54
, 2H125AC60
, 2H125AD02
, 2H125AD15
, 2H125AE14P
, 2H125AN22P
, 2H125AN34P
, 2H125AN39P
, 2H125AN41P
, 2H125AN72P
, 2H125AN78P
, 2H125AP11P
, 2H125BA01P
, 2H125BA09P
, 2H125BA16P
, 2H125CA22
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD01P
, 2H125CD29P
, 2H125CD34
, 2H125CD40
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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