法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：柳野隆生 , 森岡則夫 , 関口久由
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008203495
Publication number (International publication number)：2010038792
Patent number：5217756
Application date： Aug. 06, 2008
Publication date： Feb. 18, 2010
Claim (excerpt)：

【請求項1】少なくとも2軸2組のゴニオメータと、その回転中心間の距離を変える1軸直進ステージとで構成し、1組のゴニオメータは試料系を構成し、その可動部に被測定物を保持し、もう1組のゴニオメータは光学系を構成し、その可動部に光源と光検出器を設け、光源から出射された計測ビームと被測定物表面で反射された反射ビームが完全に重なるように、2軸2組のゴニオメータを制御するとともに、光検出器と被測定物表面間の光路長Lが一定になるように1軸直進ステージを制御して、被測定物表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置において、前記光学系を構成する2軸1組のゴニオメータと1軸の直進ステージは、4分割フォトダイオード(QPD)を用いた零位法による光検出器からの出力を直接軸駆動モータに入力するフルクローズドフィードバック制御にするとともに、試料系を構成する2軸1組のゴニオメータはセミクローズドフィードバック制御とし、前記フルクローズドフィードバック制御は、QPDの信号をサーボモ-タにフィードバックするとともに、DSP(Digital Signal Processor)からの制御信号で、2軸のゴニオメータにあっては、サーボアンプを介してサーボモータを動かし、ゴニオメータの軸周りの回転角をロータリーエンコーダで読み取り、また1軸の直進ステージにあっては、サーボアンプを介してリニアモータを動かし、直進ステージの位置をリニアエンコーダで読み取り、DSPにフィードバックするサブループを有することを特徴とする法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法。

IPC (1)：

G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01B 11/24 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特許第3598983号
特開昭62-147339
傾きセンサ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-308428 Applicant：オリンパス株式会社

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