SQUID顕微鏡

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2007153650
Publication number (International publication number)：2008304411
Patent number：5218954
Application date： Jun. 11, 2007
Publication date： Dec. 18, 2008
Claim (excerpt)：

【請求項1】プローブ(3)と被測定試料(6)との間隔を非接触状態に保つ制御部(9)と、被測定試料に所定周波数の振動を付与する加振機構(7、8)と、この振動状態での前記被測定試料の振動周波数と同じ周波数の磁気信号のみを検出するロックイン検出機構(21)とが設けてあり、前記制御部においては、前記プローブの先端と前記被測定試料との間隔をその間に生じるトンネル電流にて計測し、この電流値が所望の値となるように前記プローブと前記被測定試料との間隔を制御する、超伝導量子干渉素子を備えるSQUID顕微鏡であって、前記制御部は、前記被測定試料を走査すると共に、前記プローブの先端と前記被測定試料の表面との距離が一定となるように、前記加振機構により前記被測定試料をその高さ方向に制御して、当該高さ方向の移動量により前記被測定試料の表面形状を計測するステップと、前記加振機構を前記高さ方向に所定間隔だけ移動し、表面形状を計測したときよりも、前記プローブの先端と前記被測定試料の表面との間に前記所定間隔を付加して設けるステップと、前記加振機構に対して、所定周波数の参照信号を印加して、前記プローブの先端と前記被測定試料の表面とが非接触状態を保つ振幅であって、前記所定周波数で、その高さ方向に振動させるステップと、上記表面形状を計測したときの前記加振機構の前記高さ方向の移動量を加えて、再度同一走査ライン上を走査してSQUID顕微鏡部により当該走査ライン上の磁気信号を検出するステップと、前記検出した磁気信号に対して、前記ロックイン増幅器によって前記参照信号と同一の周波数成分を持つ交流信号を選択的に増幅するステップとを有し、前記プローブの先端と前記被測定試料の表面とを接触させることなく前記被測定試料に記録されている磁気信号を測定することを特徴とするSQUID顕微鏡。

IPC (1)：

G01R 33/035 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01R 33/035

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

超伝導量子干渉素子顕微鏡用センサーとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-029985 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平1-142477
磁気センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-108187 Applicant：平野悟

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