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J-GLOBAL ID：201303067795900255
ワーク浮上装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
,
,
Agent (4)：
津野 孝
, 小田 光春
, 加藤 来
, 清水 貴光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012118927
Publication number (International publication number)：2013245731
Application date： May. 24, 2012
Publication date： Dec. 09, 2013
Summary：
【課題】給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互い与える影響を小さくしてワークの浮上量を高精度で調整するワーク浮上装置を提供すること。【解決手段】ワーク浮上装置100のベース面111とワークWとの間に介在させてワークWを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構Aを介して調整するワーク浮上装置100において、ベース面111が、ベース面111とワークWとの間に気体を送る複数の給気口111bと、ベース面111とワークWとの間から気体を除き去る複数の排気口111cと、ベース面上の給気口111bと排気口111cとの間に配設された溝部111aとを有し、この溝部111aが、ベース面111の端部111dまで延設されていることを特徴とするワーク浮上装置100。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、
前記ベース面が、前記ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と、前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と、前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設された溝部とを有し、
該溝部が、前記ベース面の端部まで延設されていることを特徴とするワーク浮上装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (16)：
3J102AA02
, 3J102BA05
, 3J102CA03
, 3J102CA11
, 3J102EA02
, 3J102EA13
, 3J102EA16
, 3J102EA22
, 3J102EA30
, 3J102GA01
, 3J104AA52
, 3J104AA65
, 3J104AA76
, 3J104BA52
, 3J104DA13
, 3J104EA02
Cited by examiner (3)
-
ステージ装置および塗布処理装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-046422
Applicant：東京エレクトロン株式会社
-
ワーク移動テーブルおよびこれを備えた液滴吐出装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2008-250880
Applicant：セイコーエプソン株式会社
-
スライドテーブル装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2004-231115
Applicant：三鷹光器株式会社
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