Pat

J-GLOBAL ID：201303069161400856

光加熱による固体表面温度の計測装置及び計測方法

Inventor： 中宮 俊幸 ,  園田 義人 ,  光木 文秋 ,  池上 知▲顕▼
Applicant, Patent owner： 中宮 俊幸 ,  園田 義人 ,  光木 文秋 ,  池上 知▲顕▼
Agent (1)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012060750
Publication number (International publication number)：2013195150
Application date： Mar. 16, 2012
Publication date： Sep. 30, 2013
Summary：

【課題】固体表面温度を、非接触且つリアルタイムで計測する。【解決手段】プローブレーザ装置7から射出されたプローブレーザ光Pは、コリメータレンズ8によって平行光に変換された状態で、試料6の表面におけるパルスレーザLの照射位置の上方を通過する。受光光学系9は、プローブレーザ光Pの基本波及び試料6の表面におけるパルスレーザLの照射位置にて発生した熱波による偏向を受けて生じた微弱回折光成分を集光する。光検知器10は、集光した基本波と分離された微小回折光成分を受光して、その光量に応じた電気信号を出力する。信号処理回路11は、当該電気信号の値を関係式に当てはめることにより、温度を算出する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

パルスレーザ光を照射されることによって光加熱された固体の表面温度を計測するための計測装置であって、 検知用レーザ光を連続発振するプローブレーザ装置と、 前記プローブレーザ装置から発振された検知用レーザ光を、前記固体の表面における前記パルスレーザ光が照射される箇所に近接した空気中を平行ビームとして進行するように導く第1の光学系と、 前記固体の表面における前記パルスレーザ光が照射される箇所に近接した空気中を通過した前記検査用レーザ光に対して光学的フーリエ変換を施し、微弱回折光成分と基本波成分を集光する第2の光学系と、 前記第2の光学系によって基本波と微弱回折光成分を受光して、その光量に比例した値の電気信号を出力する光検知手段と、 前記電気信号の値と前記表面温度との対応関係を定義したデータを保持するデータ保持部と、 前記光検知手段から出力された電気信号の値を前記データに当てはめて、対応する温度を求める処理部と を備えることを特徴とする光加熱による固体表面温度の計測装置。

IPC (1)：

G01J 5/58

FI (1)：

G01J5/58

F-Term (5)：

2G066AA20 ,  2G066AC20 ,  2G066BA11 ,  2G066BC04 ,  2G066CA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-200038
  
• 放射温度測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-034975   Applicant：富士写真フイルム株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 有限要素法によるパルスレーザ光照射アモルファスシリコン薄膜の熱解析