ロールオーバージャイロセンサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人ゆうあい特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012080693
Publication number (International publication number)：2013210283
Application date： Mar. 30, 2012
Publication date： Oct. 10, 2013
Summary：

【課題】衝撃を受けたときの出力誤差を抑制でき、より正確な角速度検出を行うことが可能なジャイロセンサを提供する。【解決手段】逆相モードの共振周波数fantiと同相モードの共振周波数finの差分を逆相モードの共振周波数fantiで割った値で示されるデカップリング率D.R.の絶対値が0.2以上となるようにする。これにより、逆相モードの動きの誘発を抑制することが可能となり、ジャイロセンサの出力誤差を抑制することができ、より正確な角速度検出を行うことが可能となる。このようなD.R.を得るには、z軸方向の変位を許容する連成バネや検出バネ、つまり本実施形態の場合であれば支持梁43および検出梁41、特に支持梁43の設定に基づいて調整すれば良い。例えば、支持梁43および検出梁41を中間剛体41a、43aとトーションバー41b、43bとの組み合わせによって構成し、トーションバー41b、43bのバネ定数の調整に基づいて、D.R.の調整を容易に行うことができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板(10)と、前記基板に備えられ、該基板の固定部(20)に対して支持梁(43)を介して接続されると共に、前記基板の平面上の一方向をx軸方向、該x軸方向に対する垂直方向をy軸方向として、角速度検出の際に、y軸方向に駆動振動させられる2組の駆動錘(31〜34)と、前記2組の駆動錘それぞれに対して、検出梁(41)を介して1つずつ接続された2つの検出錘(35、36)と、前記基板の平面に対する垂直方向をz軸方向として、前記2つの検出錘それぞれから前記z軸方向において所定距離離間して配置された検出電極(14)と、を有し、角速度印加に伴って前記2つの検出錘が前記z軸方向において互いに逆方向に振動させられることで前記2つの検出錘と前記検出電極との間の距離が変化し、前記2つの検出錘と前記検出電極の間に構成された2つの容量値が変化することに基づいて、2つの容量値の変化を示す信号の差動出力を用いて角速度検出を行い、前記z軸方向の衝撃によって前記2つの検出錘がz軸方向において同方向に振動する同相モードの共振周波数finと互いに逆方向に振動する逆相モードの共振周波数fantiを有し、逆相モードの共振周波数fantiと同相モードの共振周波数finの差分を逆相モードの共振周波数fantiで割った値(=(fanti-fin)/fanti)をデカップリング率と定義し、該デカップリング率の絶対値が0.2以上であることを特徴とするロールオーバージャイロセンサ。

IPC (1)：

G01C 19/574

FI (1)：

G01C19/56 247

F-Term (6)：

2F105AA02 , 2F105BB03 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-351552 Applicant：株式会社村田製作所
力学量検出センサ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-128304 Applicant：大日本印刷株式会社
慣性センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-099250 Applicant：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社

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