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J-GLOBAL ID：200903028364800387

力学量検出センサ及びその製造方法

Inventor：
橋本 克美

About 橋本 克美

, 
森井 明雄

About 森井 明雄


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005128304
Publication number (International publication number)：2006308325
Application date： Apr. 26, 2005
Publication date： Nov. 09, 2006
Summary：
【課題】マイクロローディング効果の影響を抑制し、エッチングの均一性の向上が図られた力学量検出センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】力学量検出センサが、開口を有する固定部と、この開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と、を有する第1の構造体と、前記変位部に接合され、かつ前記接続部に対応する凹部を有する重量部と、前記重量部を囲んで配置され、かつ前記固定部に接合される台座と、を有し、前記第1の構造体に積層して配置される第2の構造体と、前記変位部の変位を検出する変位検出部と、を具備する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
開口を有する固定部と、この開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と、を有する第1の構造体と、 前記変位部に接合され、かつ前記接続部に対応する凹部を有する重量部と、前記重量部を囲んで配置され、かつ前記固定部に接合される台座と、を有し、前記第1の構造体に積層して配置される第2の構造体と、 前記変位部の変位を検出する変位検出部と を具備することを特徴とする力学量検出センサ。
IPC (4)：
G01P 15/12 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 ,  G01P 15/18
FI (5)：
G01P15/12 D ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 A ,  H01L29/84 Z ,  G01P15/00 K
F-Term (17)：
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA25 ,  4M112CA29 ,  4M112CA31 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (7)
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