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J-GLOBAL ID：201303094679360836

物理量センサー及び電子機器

Inventor：
與田 光宏

About 與田 光宏


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011178252
Publication number (International publication number)：2013040856
Application date： Aug. 17, 2011
Publication date： Feb. 28, 2013
Summary：
【課題】検出感度を向上させることが可能な物理量センサーの提供。【解決手段】加速度センサー1は、第1凹部11が設けられたベース基板10と、第1凹部11の上方に配置され、支持部23a,23bにより第1凹部11の深さ方向に揺動可能に支持されたセンサー部21と、を備え、センサー部21は、支持部23a,23bを境に第1部分21Aと第2部分21Bとに区分され、第1部分21A及び第2部分21Bに可動電極部を有し、且つ、第1部分21Aよりも質量が大きい第2部分21Bには、少なくとも先端側に貫通孔24が形成され、ベース基板10は、第1凹部11における可動電極部に対向する位置に固定電極部12,13を有し、且つ、固定電極部12,13よりもセンサー部21の先端寄りであって、センサー部21の先端側に対向する部分に、第1凹部11よりも深い第2凹部14が設けられている。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
第1凹部が設けられたベース基板と、 前記第1凹部の上方に配置され、第1軸の方向に延びる支持部により前記第1凹部の深さ方向に揺動可能に支持されたセンサー部と、を備え、 前記センサー部は、前記支持軸を境に第1部分と第2部分とに区分され、前記第1部分及び前記第2部分に可動電極部を有し、 且つ、前記第1部分よりも前記第2部分は質量が大きく、前記第1部分および前記第2部分の少なくとも一方に貫通孔が設けられ、 前記ベース基板は、前記可動電極部に平面視で重複する位置に固定電極部を有し、 且つ、前記センサー部の先端に平面視で重複する位置に、前記第1凹部よりも深い第2凹部が設けられていることを特徴とする物理量センサー。
IPC (2)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (2)：
G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
F-Term (19)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA35 ,  4M112DA03 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112EA12 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 静電型デバイス
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-137278   Applicant：株式会社村田製作所
Cited by examiner (1)
  • 静電型デバイス
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-137278   Applicant：株式会社村田製作所

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