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J-GLOBAL ID：201402216488957770   Reference number：14A1091129

Structure and electrochemical characterization of carbon films formed by unbalanced magnetron (UBM) sputtering method

不平衡マグネトロン(UBM)スパッタリング法で形成した炭素膜の構造と電気化学的特性解析

Author (4)： KAMATA Tomoyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8566, JPN) ,  KATO Dai (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8566, JPN) ,  IDA Hideo (Universal Systems Co., Ltd., 606 Minamisakaide Naka, Ibaraki 311-0132, JPN) ,  NIWA Osamu (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8566, JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 49  Page： 25-32  Publication year： Oct. 2014 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： evaporated film ,  carbon material ,  nanostructure ,  *electron configuration ,  magnetron sputtering ,  membrane electrode ,  target ,  chemical composition ,  chemical bond ,  *surface structure ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  atomic force microscope ,  transmission electron microscope ,  *electron transfer rate ,  *electrochemical behavior ,  cyclic voltammetry ,  cyano complex ,  ammine complex ,  nitrogen heterocyclic compound ,  polynuclear aromatic compound ,  hydroxy acid
Semi thesaurus term： *ナノ炭素膜 ,  *炭素膜電極 ,  不平衡マグネトロンスパッタリング

JST classification (4)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Electrochemical polarization  (CB07030J)

Substance index (1)： Kynurenic Acid

Terms in the title (7)： 不平衡 ,  マグネトロン ,  UBM ,  スパッタリング法 ,  炭素膜 ,  電気化学的特性 ,  解析