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J-GLOBAL ID：201402217659002079   Reference number：14A0483438

Portable X-Ray Reflectometer Using a Low Power Polychromatic X-Ray Tube

小型白色X線管を用いたX線反射率測定装置

Author (5)： ONISHI TSUNENORI (京大 大学院工学研究科) ,  IMASHUKU SHIN (京大 大学院工学研究科) ,  YUGE TADATAKA (京大 大学院工学研究科) ,  KAWAI JUN (京大 大学院工学研究科) ,  SHIMURA NAOMI (アールイーエス・ラボ)
Material： X線分析の進歩  (X線工業分析)
Volume： 45  Page： 211-215  Publication year： Mar. 31, 2014 
JST Material Number： Z0547B  ISSN： 0911-7806  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *X-ray reflection ,  *reflectivity ,  *measurement ,  X-ray tube ,  Si semiconductor detector ,  metallic thin film ,  copper ,  interference fringe ,  density ,  *hand-held type ,  terminal equipment

JST classification (3)： Refractometry and reflectometry and their equipments  (BD07060V) ,  X-ray instruments and techniques  (BA02060D) ,  Radiation spectroscopy and spectrometers  (AD08030U)

Reference (7)：

• L. G. Parratt: Phys. Rev., 95, 359 (1954).
• Y. Nakano, T. Fukamachi, A. Hayakawa: Jpn. J. Appl. Phys., 17-2, 329 (1978).
• P. Karimov, S. Harada, J. Kawai: Surf. Interface Anal., 35, 76 (2003).
• A. Alshehabi, S. Kunimura, J. Kawai: Anal. Methods, 2, 1555 (2010).
• S. Kunimura, J. Kawai: Anal. Chem., 79, 2593 (2007).

Terms in the title (2)： 白色X線 ,  X線反射率測定