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J-GLOBAL ID：201402237524205639   Reference number：14A0962188

The Evaluation of the Surface Strength of DLC Films by MSE Method -Relation Between Hydrogen Content and Surface Strength-

MSE法を用いたDLC膜の表面強度特性の評価 -水素含有率と表面強度の関係-

Author (10)： IWAI YOSHIRO (福井大学) ,  SAKANO KAORU (福井大学) ,  BOKU SHOKI (福井大学) ,  SHIBATA KEN'ICHI (福井大学) ,  KOHATA MAMORU (福井大学) ,  KANDA KAZUTAKA (福井工業大学) ,  MIYAJIMA TOSHIRO (富山県立大学) ,  HASHIMOTO MASAKI (福井県工業技術センター) ,  ISHIGAMI RYOYA ((公財) 若狭湾エネルギー研究センター) ,  YASUDA KEISUKE ((公財) 若狭湾エネルギー研究センター)
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 80  Issue： 8  Page： 771-776 (J-STAGE)  Publication year： 2014 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *diamond-like carbon ,  *surface quality ,  *strength ,  jet(flow) ,  erosion(corrosion) ,  hydrogen
Semi thesaurus term： microjet ,  slurry erosion

JST classification (2)： Ceramic materials  (HC02040T) ,  Lubrication in general  (QB02010S)

Reference (16)：

• 1) 斎藤秀俊:DLC膜ハンドブック, NTS,(2006) 131.
• 2) 安藤淳二,中西和之:Si含有DLC膜のトライボロジー特性とその応用,トライボロジスト, 52, 2 (2007) 120.
• 3) 加納眞:高硬質炭素膜のトライボロジーの研究動向,トライボロジスト, 58, 8 (2013) 524.
• 4) 大竹尚登,平塚傑工,齋藤秀俊:DLC膜の規格化について,トライボロジスト, 58, 8 (2013) 538.
• 5) Y. Iwai, T. Honda, H. Yamada, T. Matsubara, M. Larsson, S. Hogmark : Evaluation of wear resistance of thin hard coatings by a new solid particle impact test, Wear, 251, (2001) 861.

Terms in the title (5)： DLC膜 ,  強度特性 ,  評価 ,  水素 ,  含有率