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J-GLOBAL ID：201402254910548356   Reference number：14A1308017

超短パルスレーザ微細加工の最適加工条件探索に関する研究

Author (1)： MEGURO KAZUYUKI (岩手県工技セ)
Material： 天田財団助成研究成果報告書  (Report of Grant-Supported Researches the Amada Foundation)
Volume： 27  Page： 177-182  Publication year： Oct. 2014 
JST Material Number： J0694A  ISSN： 2434-0723  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nickel base alloy ,  silicon ,  laser application ,  *laser beam machining ,  *fine patterning ,  pulsed laser ,  machining condition ,  optimum condition ,  pulse duration ,  fluence ,  thermal effect ,  laser ablation ,  grooving (machining) ,  laser output ,  ultrashort pulse laser ,  femtosecond laser ,  *metal working ,  machining accuracy
Semi thesaurus term： machining accuracy ,  nickel base alloy ,  silicon ,  number of pulse

JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (7)：

• B.N. Chichkov et al., Appl. Phys. A 63, (1996) 109.
• C. Momma et al., Opt. Commun. 129, (1996) 134.
• I. Miyamoto, J. Jpn. Laser Proc. Soc. 20 (1) (2013) 1-10.
• A. G. Cullis et al., Phys. Rev. Lett. 49, (1982) 219.
• K. Murakami, J. Plasma Fusion Res. 79 (10), (2003) 1035-1042.

Terms in the title (5)： 短パルスレーザ ,  微細加工 ,  加工条件 ,  探索 ,  研究