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J-GLOBAL ID：201402263232115931   Reference number：14A0166329

Self-Crack-Healing Behavior of SiN_x/SiC_y Nano-Laminated Thin Film under High Temperature Environment

高温環境下におけるSiN_x/SiC_yナノ積層薄膜の自己き裂治癒挙動

Author (4)： NAKATANI MASANORI (兵庫県立大学大学院工学研究科機械系工学専攻) ,  NISHIMURA JUNKI (兵庫県立大学大学院) ,  HANAKI SATOSHI (兵庫県立大学大学院工学研究科機械系工学専攻) ,  UCHIDA HITOSHI (兵庫県立大学大学院工学研究科機械系工学専攻)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 62  Issue： 10  Page： 634-639 (J-STAGE)  Publication year： 2013 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon nitride ,  *silicon carbide ,  ceramic membrane ,  *laminate structure ,  Nanocomposites ,  composite film ,  ion beam deposition ,  wafer ,  *microcrack ,  *restoration ,  *repair ,  high temperature ,  heating temperature ,  Time ,  *self healing ,  heating time ,  Si wafer
Semi thesaurus term： IBAD ,  Si wafer

JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Ceramic materials  (HC05040O) ,  Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G)

Reference (20)：

• 1) W. D. Sproul, “New routes in the preparation of mechanically hard films”, Science, Vol.273, pp.889-892 (1996).
• 2) S. Zhang, D. Sun, Y.-Q. Fu and H. Du, “Toughening of hard nanostructural thin films: a critical review”, Surface & Coatings Technology, Vol.198, pp.2-8 (2005).
• 3) S. R. White, N. R. Sottos, P. H. Geubelle, J. S. Moore, M. R. Kessler, S. R. Sriram, E. N. Brown and S. Viswanathan, “Autonomic healing of polymer composites”, Nature, Vol.409, pp.794-797 (2001).
• 4) M. R. Kessler, N. R. Sottos and S. R. White, “Self-healing structural composite materials”, Composites : Part A, Vol.34, pp.743-753 (2003).
• 5) V.-C. Li and E.-H. Yang, “Self healing in concrete materials”, in : S. van der Zwaag (Ed.), Self Healing Materials-an Alternative Approach to 20 Centuries Materials Science, Springer, The Netherlands, pp.161-194 (2007).

Terms in the title (5)： 高温環境 ,  薄膜 ,  自己 ,  き裂治癒 ,  挙動