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J-GLOBAL ID：201402265674685268   Reference number：14A0583303

Three-dimensional surface figure measurement of high-accuracy spherical mirror with nanoprofiler using normal vector tracing method

法線ベクトル追跡法を用いたナノプロファイラによる高精度球面鏡に関する三次元表面図形測定

Author (6)： KUDO R. (Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  OKUDA K. (Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...) ,  USUKI K. (Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...) ,  NAKANO M. (Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...) ,  YAMAMURA K. (Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  ENDO K. (Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
Material： Review of Scientific Instruments  (Rev Sci Instrum)
Volume： 85  Issue： 4  Page： 045101-045101-5  Publication year： Apr. 2014 
JST Material Number： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *shape measurement ,  vector(mathematics) ,  *spherical mirror ,  concave mirror ,  radius(length) ,  accuracy ,  reproducibility ,  three dimension ,  range finder ,  morphology(form) ,  curved surface ,  computer algorithm ,  simulation ,  interferometer
Semi thesaurus term： Fizeau interferometer ,  ナノプロファイラ ,  laser profiler ,  curvature radius ,  high accuracy ,  freedom form curved surface ,  Numerical Simulation ,  *surface metrology ,  normal vector

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (5)： 法線ベクトル ,  追跡 ,  プロファイラ ,  球面鏡 ,  形測定