Art

J-GLOBAL ID：201402298356874707   Reference number：14A0715382

Shape adaptive grinding of CVD silicon carbide

CVDシリコンカーバイドの形状適応研削

Author (5)： BEAUCAMP Anthony (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi, JPN) ,  NAMBA Yoshiharu (Dep. of Mechanical Engineering, Chubu Univ., 1200 Matsumotocho, Kasugai, Aichi, JPN) ,  COMBRINCK Herman (Cranfield Precision, Woburn House, Kempston, Bedford, GBR) ,  CHARLTON Phillip (Zeeko Ltd., Vulcan Court, Coalville, Leicestershire, GBR) ,  FREEMAN Richard (Zeeko Ltd., Vulcan Court, Coalville, Leicestershire, GBR)
Material： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (Berichte der Internationale Akademie fuer Produktionstechnik)
Volume： 63  Issue： 1  Page： 317-320  Publication year： 2014 
JST Material Number： E0026A  ISSN： 0007-8506  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,  *silicon carbide ,  abrasive grain ,  grinding ,  *ultraprecision machining ,  surface roughness ,  error (measure) ,  form error

JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (4)： CVD ,  シリコンカーバイド ,  適応 ,  研削