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J-GLOBAL ID:201403001597800802
CO2レーザーモニター装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
堀 城之
, 前島 幸彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012270516
Publication number (International publication number):2014115224
Application date: Dec. 11, 2012
Publication date: Jun. 26, 2014
Summary:
【課題】低コストでCO2レーザー光のモニターを行う。【解決手段】CO2レーザー光100は、回折格子13に入射して回折される。この際、回折角度は波長により異なる。回折光101〜103は、光検出板14に入射する設定とされる。光検出板14は、可視光を発する蛍光板あるいは蓄光板であり、表面から蛍光あるいは燐光を発するが、この蛍光あるいは燐光の強度は、表面に入射した赤外光の強度によって変化する。このため、光検出板14の表面に入射した赤外光ビームを、蛍光あるいは燐光の強度むらとして認識することができる。この状況は、撮像装置15で撮像することができる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
CO2(炭酸ガス)レーザー光の光軸及びスペクトルを計測するCO2レーザーモニター装置であって、
前記CO2レーザー光を回折する回折格子と、
表面から蛍光又は燐光を発し、前記回折格子で回折された前記CO2レーザー光によって前記表面が照射され、前記蛍光又は燐光の発光強度が温度によって変動する光検出板と、
前記光検出板の表面を撮像する撮像装置と、
を具備することを特徴とするCO2レーザーモニター装置。
IPC (3):
G01J 1/58
, G01J 1/02
, G01J 3/18
FI (4):
G01J1/58
, G01J1/02 H
, G01J1/02 K
, G01J3/18
F-Term (13):
2G020AA03
, 2G020CB23
, 2G020CB42
, 2G020CC02
, 2G020CD06
, 2G020CD26
, 2G065AA11
, 2G065AB02
, 2G065AB09
, 2G065BA06
, 2G065BA29
, 2G065BB28
, 2G065BB50
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特開平3-252531
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レーザ波長分離用ホログラム光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-211546
Applicant:大日本印刷株式会社
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波長測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-357899
Applicant:安藤電気株式会社
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Article cited by the Patent:
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