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J-GLOBAL ID：201403004113852837
半導体マイクロ分析チップ及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
特許業務法人スズエ国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013045393
Publication number (International publication number)：2014173935
Application date： Mar. 07, 2013
Publication date： Sep. 22, 2014
Summary：
【課題】 微粒子検出を高感度で行うことができ、且つ高信頼性及び低コストを実現する。【解決手段】 検体液中の微粒子を検出するための半導体マイクロ分析チップであって、半導体基板10と、半導体基板10に設けられ、検体液が導入される第1の流路31と、第1の流路31に設けられ、検体液中の微粒子を通過させるための微細孔40と、を具備している。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
検体液中の微粒子を検出するための半導体マイクロ分析チップであって、
半導体基板と、
前記半導体基板に設けられた溝及び該溝の少なくとも一部に蓋をする第1の絶縁膜からなり、前記検体液が導入される第1の流路と、
前記半導体基板の加工体で形成又は該加工体の一部若しくは全部を酸化して形成され、前記第1の流路の内部に設けられ、前記第1の流路の底面から上面に延在する複数の柱状体と、
少なくとも一部が前記第1の絶縁膜を底面とし、該第1の絶縁膜上に少なくとも一部が積層されて溝パターンを成す第2の絶縁膜、及び該第2の絶縁膜による溝パターンの少なくとも一部に蓋をする第3の絶縁膜からなり、前記第1の流路上に設けられた第2の流路と、
前記第1の流路と前記第2の流路との間に設けられ、前記検体液中の前記微粒子を通過させるための微細孔と、
を具備したことを特徴とする半導体マイクロ分析チップ。
IPC (5)：
G01N 27/416
, G01N 37/00
, G01N 15/00
, G01N 15/14
, G01N 27/28
G01N27/46 336M
, G01N37/00 101
, G01N15/00 B
, G01N15/14 Z
, G01N27/28 321F
, G01N27/28 321G
