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J-GLOBAL ID：201403034827850478
ナノ凹凸パターンの製造方法および製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
細見 吉生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012232447
Publication number (International publication number)：2014086100
Application date： Oct. 20, 2012
Publication date： May. 12, 2014
Summary：
【課題】 金属ガラスを利用したナノ凹凸パターンを、短時間のサイクルで能率的に製造することを可能にする製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 基板1上の金属ガラス層3上にナノ凹凸パターンを形成する製造方法であって、基板1上の金属ガラス層3をレーザー照射によって過冷却液体温度域にまで加熱し、金属ガラス層3が当該温度域にある間に、モールド4を用いて当該金属ガラス層3にナノインプリントを施し、それによって上記の微細凹凸パターンを形成する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
基板上の金属ガラス層表面にナノ凹凸パターンを形成する製造方法であって、
レーザー照射によって上記金属ガラス層を過冷却液体温度域にまで加熱し、当該温度域にある金属ガラス層にナノインプリントを施すことによって、上記の凹凸パターンを形成することを特徴とするナノ凹凸パターンの製造方法。
IPC (3)：
G11B 5/84
, C03C 17/09
, G11B 5/855
G11B5/84 Z
, C03C17/09
, G11B5/855
4G059AA09
, 4G059AB07
, 4G059AB09
, 4G059AC01
, 4G059DA03
, 4G059DB02
, 5D112AA03
, 5D112AA05
, 5D112AA17
, 5D112AA24
, 5D112GA00
