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J-GLOBAL ID：201403046650376175

形状可変ミラー

Inventor： 羽根渕 昌明 ,  赤井 大輔 ,  石田 誠 ,  澤田 和明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニデック ,  国立大学法人豊橋技術科学大学
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008256896
Publication number (International publication number)：2010085872
Patent number：5405792
Application date： Oct. 01, 2008
Publication date： Apr. 15, 2010
Claim (excerpt)：

【請求項1】補償光学系に配置され、該補償光学系における収差を補正するための形状可変ミラーであって、マイクロミラーが複数分離して配置され、各マイクロミラーがそれぞれ独立して駆動されることによりミラー面全体の形状を変化させ、前記ミラー面に入射される光の波面を補償する形状可変ミラーは、 基板上における固定部の内側に第1のトーションバーを介して形成される内部可動枠と、前記第1のトーションバーに対して直交する第2トーションバーを介して前記内部可動枠の内側に形成される回動板と、前記第1のトーションバーを挟む形で形成された第1の圧電膜及び該第1の圧電膜に電圧を印加する第1の電極と、前記第2のトーションバーを挟む形で形成された第2の圧電膜及び該第2の圧電膜に電圧を印加する第2の電極と、を含み、前記第1の圧電膜及び該第1の電極と、前記第2の圧電膜及び該第2の電極は、前記内部可動枠上に形成され、前記第1の電極及び前記第2の電極に印加される電圧によって前記第1及び第2トーションバーを回動軸として回動される前記回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、 該圧電アクチュエータアレイの各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、 前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーであって、前記圧電アクチュエータの面積以上の大きさを持ち、隣り合う各マイクロミラー同士が近接して配置されるように前記柱部を介して圧電アクチュエータの上方に置かれるマイクロミラーと、を備え、 各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化され、前記ミラー面に入射される光の波面を補償することを特徴とする形状可変ミラー。

IPC (1)：

G02B 26/08 ( 200 6.01)

FI (1)：

G02B 26/08 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光ピックアップ装置及び光ディスク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-333690   Applicant：株式会社リコー
• 光学反射素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-025011   Applicant：松下電器産業株式会社
• 2次元光スキャナ及び光学装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-386553   Applicant：スタンレー電気株式会社