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J-GLOBAL ID：200903007071301109

2次元光スキャナ及び光学装置

Inventor：
安田 喜昭

About 安田 喜昭

, 
谷 雅直

About 谷 雅直

, 
赤松 雅洋

About 赤松 雅洋


Applicant, Patent owner：
スタンレー電気株式会社

About スタンレー電気株式会社


Agent (2)： 丹羽 宏之 ,  野口 忠夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003386553
Publication number (International publication number)：2005148459
Application date： Nov. 17, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：
【課題】 マイクロマシニングプロセスによって一体形成可能であるとともに、小型で2次元走査可能な光スキャナ及び該光スキャナを用いて構成した光学装置を提供する。【解決手段】 空隙11′を持つ支持基板11の内側に、反射膜2を有するミラー部1と、ミラー部1を囲み第1のトーションバー4a、4bを介してミラー部1を支持する内部可動枠3を備える。また、第1のトーションバー4a、4bと軸方向が直交する第2のトーションバー12a、12bを介して内部可動枠3を支持基板11に軸支し、かつ、一端が支持基板11に保持され他端が弾性体を介して内部可動枠3に接続された第1の振動板6a、6b、6c、6dと、一端が内部可動枠3に保持され他端が弾性体を介してミラー部1に接続された第2の振動板14a、14b、14c、14dを備え、該圧電ユニモルフの駆動によって内部可動枠3及びミラー部1に回転トルクを作用させる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
空洞部を持つ支持体の内側に、反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を囲み第1のトーションバーを介して該ミラー部を支持する内部可動枠を備えるとともに、前記第1のトーションバーと軸方向が直交する第2のトーションバーを介して前記内部可動枠を前記支持体に軸支し、かつ、一端が前記支持体に保持され他端が弾性体を介して前記内部可動枠に接続された第1の圧電ユニモルフ振動板と、一端が前記内部可動枠に保持され他端が弾性体を介して前記ミラー部に接続された第2の圧電ユニモルフ振動板とを備え、該圧電ユニモルフの駆動によって前記内部可動枠及びミラー部に回転トルクを作用させることにより、前記第1及び第2のトーションバーを2軸としてミラー部を回動させて、該ミラー部の反射面に入射する光の反射光を2次元的に走査することを特徴とする2次元光スキャナ。
IPC (3)：
G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  B81B3/00
FI (3)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D
F-Term (5)：
2C362BA17 ,  2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (3)
  • 光偏向器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-092094   Applicant：日本ビクター株式会社
  • プレーナ型アクチュエータ及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-072026   Applicant：日本信号株式会社
  • ガルバノミラー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-370399   Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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