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J-GLOBAL ID：201403099865692295

プラズマの点火及び維持の方法と装置

Inventor： ベンジャミン・ニール・マーティン・ポール ,  フィッシャー・アンドレアス
Applicant, Patent owner： ラム リサーチ コーポレーション
Agent (2)： 特許業務法人明成国際特許事務所 ,  井上 佳知
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2013534407
Publication number (International publication number)：2014500574
Application date： Oct. 03, 2011
Publication date： Jan. 09, 2014
Summary：

【解決手段】プラズマを発生させるための装置は、プラズマ生成容器と、コイル長を有するコイルと、第1の部分的取り囲み長手方向導電性(PELOC)フィンガセットと、第2のPELOCフィンガセットとを含む。PELOCフィンガセットは、容器の長手方向軸に沿って配向され、それぞれ容器の周りを部分的に取り囲んでいる。2つのPELOCフィンガセットは、フィンガの先端同士が向き合うように及びコイル長未満のセット間距離で隔てられるように配向されている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

プラズマを発生させるための装置であって、 内部で前記プラズマが生成される容器と、 前記プラズマを少なくとも維持するためにRFドライバ信号を受信するように構成され、コイル長を有するコイルと、 前記容器の長手方向軸に沿って配向され、前記容器の周りを部分的に取り囲む、第1の部分的取り囲み長手方向導電性(PELOC)フィンガセットであって、前記コイルの第1の端部に電気的に結合されている第1のPELOCフィンガセットと、 前記容器の前記長手方向軸に沿って配向され、前記容器の前記周りを部分的に取り囲む、第2の部分的取り囲み長手方向導電性(PELOC)フィンガセットであって、前記コイルの第2の端部に電気的に結合されている第2のPELOCフィンガセットと、 を備え、 前記第1のPELOCフィンガセット及び前記第2のPELOCフィンガセットは、前記第1のPELOCフィンガセットのフィンガの先端が前記第2のPELOCフィンガセットのフィンガの先端の方向を向くように配向され、前記コイル長未満のセット間距離で隔てられている、装置。

IPC (1)：

H05H 1/30

FI (1)：

H05H1/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• プラズマを発生する方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-302771   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 特許第6264812号
  
• 研磨装置及び研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-199863   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• 特許第6284668号