Art

J-GLOBAL ID：201502200378100711   Reference number：15A0780796

Patterned ZrO₂/MTiO₃ (M=Ca, Sr, Ba) films in micrometer scale prepared by anodic oxidation of titanium under spark discharge

火花放電アノード酸化によるZrO₂/MTiO₃(M=Ca,Sr,Ba)マイクロパターニング膜の作製

Author (2)： HOSOOKA MEI (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  IWASAKI MITSUNOBU (近畿大 大学院総合理工学研究科)
Material： 材料技術  (Material Technology)
Volume： 33  Issue： 3  Page： 43-49  Publication year： May. 25, 2015 
JST Material Number： Y0644A  ISSN： 0289-7709  CODEN： MTECFQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： pattern formation ,  fine patterning ,  anodic oxidation ,  zirconium oxide ,  spark discharge ,  *oxide ,  *thin film ,  calcium titanate ,  strontium titanate ,  barium titanate ,  cubic system ,  gel ,  ultraviolet irradiation ,  etching ,  firing (heat treatment) ,  depth distribution ,  *oxide thin film ,  micro-patterning
Semi thesaurus term： micro-patterning ,  ultra-microfabrication

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (9)：

• Masuda, Y. Sugiyama, T. Lin, H. Seo, W. S.; Koumoto, K. Thin, Solid Films, 382,153 (2001).
• 玉川泰裕,野間直樹,堀川袷志,岩崎光伸,表面技術,60(12),811(2009).
• N. Noma, S. Yamazaki, N. Tohge, J. Sol-Gel Sci. Technol., 31(1/2/3),253 (2004).
• 工藤浩棋,堀川袷志,岩崎光伸,伊藤征司郎,材料技術,第27巻2号,pp.54-59(2009).
• 工藤浩棋,岩崎光伸,伊藤征司郎,表面技術,59(5),340(2008).

Terms in the title (7)： 火花放電 ,  アノード酸化 ,  ZrO2 ,  Sr ,  Ba ,  マイクロパターニング ,  作製