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J-GLOBAL ID：201502200399495970   Reference number：15A1184330

亜鉛-酸素混合プラズマを用いたZnO透明導電膜の低抵抗化プロセス

Author (5)： SATO NAOYUKI (茨城大) ,  NONAKA SHOTA (茨城大) ,  TAKEDA NAOKI (茨城大) ,  IKEHATA TAKASHI (茨城大) ,  SATO TATSUSHI (ビームトロン)
Material： 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)  (電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM))
Volume： 2015  Page： ROMBUNNO.18-D-P2-2  Publication year： Sep. 17, 2015 
JST Material Number： L3783B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma ,  *transparent conducting thin films ,  film production ,  zinc ,  oxygen ,  zinc oxide ,  electric resistance
Semi thesaurus term： ZnO

JST classification (2)： Applications of plasma  (BJ02110K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 亜鉛 ,  酸素 ,  プラズマ ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  低抵抗 ,  プロセス