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J-GLOBAL ID：201502203894818660   Reference number：15A1033156

Effect of Atomically-stepped Single Crystal Substrates on Surface Formation of Nanogroove Arrays after Annealing of Epitaxial Thin Films Grown at Room-temperature by Pulsed Laser Deposition

パルスレーザー堆積した室温成長エピタキシャル薄膜における熱処理後のナノ溝配列形成に及ぼす原子ステップ単結晶基板の影響

Author (3)： MATSUDA AKIFUMI (東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻) ,  KASAHARA MASAYASU (東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻) ,  YOSHIMOTO MAMORU (東京工業大学大学院総合理工学研究科物質科学創造専攻)
Material： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
Volume： 135  Issue： 9  Page： 1096-1097 (J-STAGE)  Publication year： 2015 
JST Material Number： S0810A  ISSN： 0385-4221  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pulsed laser deposition ,  room temperature ,  *nanostructure ,  self assembly ,  transmission electron microscope
Semi thesaurus term： *pulsed laser deposition ,  TEM (microscope)

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (4)：

• (1) M. Yoshimoto, R. Yamauchi, D. Shiojiri, G. Tan, S. Kaneko, and A. Matsuda : “Room-temperature synthesis of epitaxial oxide thin films for development of unequilibrium structure and novel electronic functionalization”, J. Ceram. Soc. Jpn., Vol. 121, No. 1, pp. 1-9 (2013)
• (2) S. Akiba, A. Matsuda, H. Isa, M. Kasahara, S. Sato, T. Watanabe, W. Hara, and M. Yoshimoto : “Formation of a nanogroove-striped NiO surface using atomic steps”, Nanotech., Vol. 17, No. 16, pp. 4053-4056 (2006)
• (3) Y. Akita, Y. Miyake, H. Nakai, H. Oi, M. Mita, S. Kaneko, M. Mitsuhashi, and M. Yoshimoto : “Evolution of Atomically Stepped Surface of Indium Tin Oxide Thin Films Grown on Nanoimprinted Glass Substrates”, Appl. Phys. Express, Vol. 4, No. 3, pp. 035201-1-035201-3 (2011)
• (4) R. Yamauchi, G. Tan, D. Shiojiri, K. Koyama, S. Kaneko, A. Matsuda, and M. Yoshimoto : “Influence of Rapid Thermal Annealing and Substrate Terrace Width on Self-Organizing Formation of Periodic Straight Nanogroove Array on NiO(111) Epitaxial Thin Film”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 51, No. 6S, pp. 06FF16-1-06FF16-2 (2012)

Terms in the title (9)： パルスレーザー堆積 ,  室温 ,  成長 ,  エピタキシャル ,  薄膜 ,  熱処理 ,  配列形成 ,  原子 ,  単結晶基板