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J-GLOBAL ID：201502203965256138   Reference number：15A0941262

バイオインスパイアードアルゴリズムを用いた化学気相堆積プロセスにおける反応機構自動解析システムの開発

Author (4)： TAKAHASHI TAKAHIRO (静岡大 大学院) ,  ABE KOJI (静岡大 工) ,  ARAKAWA MASAMOTO (宇部工高専) ,  EMA YOSHINORI (静岡大 大学院)
Material： 情報化学討論会講演要旨集(Web)
Volume： 36th  Page： P12(J-STAGE)  Publication year： Oct. 31, 2013 
JST Material Number： U0627A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *chemical vapor deposition ,  process (production) ,  *reaction mechanism ,  *analysis ,  *system ,  development ,  reaction path ,  research and development ,  Automation ,  evaluation ,  thin film ,  Knudsen number ,  Diffusion ,  sticking coefficient ,  inference machine ,  chemical reactor ,  measurement data ,  higher dimension ,  function (mathematics) ,  error (measure) ,  surface reaction ,  *bio-inspired algorithm ,  analysis accuracy ,  *artificial bee colony algorithm ,  predictive value ,  film deposition ,  modification
Semi thesaurus term： Virtual instrument ,  optimization algorithm ,  film formation ,  exploration

JST classification (3)： Vapor plating  (WC08022K) ,  Numerical computation  (JE02000J) ,  Research and development  (CA01040B)

Reference (9)：

• H. Komiyama, Y. Shimogaki and Y. Egashira, Chem. Eng. Sci. 54, 1941 (1999).
• T. Takahashi, K. Funatsu and Y. Ema, Meas. Sci. Technol. 16, 278 (2005).
• T. Takahashi, N. Fukui, M. Arakawa, K. Funatsu and Y. Ema, J. Nanosci. Nanotechnol. 11, 8004 (2011).
• D. Karaboga, Technical Report-TR06, Erciyes Univ., Kayseri, Turkey (2005).
• 高橋崇宏, 河合晃平, 中井寛之, 金原宏樹, 江間義則, 第35回情報化学討論会講演要旨集, P16 (2012).

Terms in the title (5)： バイオインスパイアードアルゴリズム ,  化学気相堆積 ,  プロセス ,  解析システム ,  開発