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J-GLOBAL ID：201502204469974809   Reference number：15A0942836

Semiconductor Gas Sensors and Catalytic Combustion Type Gas Sensors

半導体式ガスセンサおよび接触燃焼式ガスセンサ

Author (1)： HARA KAZUHIRO (東京電機大学 工学部)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 135  Issue： 8  Page： 270-275 (J-STAGE)  Publication year： 2015 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： semiconductor detector ,  *gas sensor ,  *catalytic combustion ,  *MEMS ,  crystal structure ,  principle ,  *technology development ,  tin oxide ,  heater ,  consumed electric power ,  *micromachining ,  leak detector ,  expiration ,  offensive odor ,  substrate(plate)
Semi thesaurus term： catalytic combustion ,  surface micromachining ,  sapphire substrate

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (52)：

• (1) T. Seiyama, A. Kato, K. Fujiishi, and M. Nagatani : “A new detector for gaseous components using semiconductive thin films”, Anal. Chem., Vol. 34, pp. 1502-1503 (1962)
• (2) 間中順二・水田利昭:「マイクロガスセンサーにおけるメモリー機能」, 第50回応用物理学会学術講演会, 28p-ZC-2 (1986)
• (3) T. Ogawa and K. Hara : “A Thin-Film Gas Sensor Fabricated on a Diaphragm on a Silicon Substrate”, T. IEE Japan, Vol. 112-C, No. 12, pp. 763-768 (1992) (in Japanese)
• 小川 剛・原 和裕:「Si基板上に作成したダイヤフラム形薄膜ガスセンサ」, 電学論C, Vol. 112, No. 12, pp. 763-768 (1992)
• (4) 野中 篤・中島 崇・大西久男・岡村 誠・村田尚義・鈴木卓弥:「薄膜SnO₂ガスセンサの超低消費電力化」, Chemical Sensors, Vol. 30, Supplement B, pp. 13-15 (2014)

Terms in the title (2)： ガスセンサ ,  接触燃焼