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J-GLOBAL ID：201502205328353513   Reference number：15A1096407

紫外光援用研磨によるダイヤモンドの平坦化-オゾンガスの導入効果-

Author (2)： KUBOTA AKIHISA (熊本大 大学院) ,  TOGE MUTSUMI (熊本大 先進マグネシウム国際研究セ)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2015  Issue： 秋季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.L39  Publication year： Aug. 20, 2015 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraviolet irradiation ,  *polishing (machining) ,  precision grinding ,  ultraprecision machining ,  *Diamond ,  flatness (property) ,  *Ozone ,  semiconductor device ,  substrate (plate) ,  cutting tool ,  cemented carbide ,  alternative material ,  ultraprecision polishing ,  *machining ,  *ore ,  *precious stone
Semi thesaurus term： ozone gas ,  power device ,  *introducing effect ,  flattening

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Oxidation,reduction  (CF02060T)

Terms in the title (7)： 紫外光 ,  援用 ,  研磨 ,  ダイヤモンド ,  平坦化 ,  オゾンガス ,  導入効果