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J-GLOBAL ID：201502214074556299   Reference number：15A1391362

機械をいじくる MEMSのものづくり,ひとづくり,ことづくり

Author (2)： TOTSU KENTARO (日本機械学会) ,  TOTSU KENTARO (東北大 マイクロシステム融合研究開発セ)
Material： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
Volume： 118  Issue： 1165  Page： 726-729  Publication year： Dec. 05, 2015 
JST Material Number： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *MEMS ,  design ,  working and processing ,  evaluation ,  engineer ,  trial manufacture ,  *open type ,  *facility and building ,  operation (management) ,  *industrial education ,  application program ,  *contest ,  action and behavior
Semi thesaurus term： *engineer training ,  *regional alliances ,  *making the thing

JST classification (1)： Engineering education  (QA01050A)

Reference (8)：

• 江刺正喜,はじめてのMEMS,(2011),森北出版.
• Suzuki, Y., Totsu, K., Moriyama, M., Esashi, M. and Tanaka, S., Free-standing Subwavelength Grid Infrared Cut Filter of 90 mm Diameter for LPP EUV Light Source, Sensors and Actuators A, 231 (2015), 59-64.
• 東北大学試作コインランドリホームページ http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/index.html
• 飯塚哲哉・田辺孝二・出川通,「ザインエレクトロニクス」最強ベンチャー論,(2011),68,言視社.
• ナノテクジャパンイエローページ http://nanonet.mext.go.jp/yp/

Terms in the title (2)： MEMS ,  ものづくり