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J-GLOBAL ID：201502217833515321   Reference number：15A1044303

電子ビーム描画装置を用いてSr₂RuO₄-Ru共晶中に作製したNb/Ru/Sr₂RuO₄微小接合を持つdc-SQUIDの開発

Author (16)： TANISHITA TOMOKI (東京理大) ,  TANISHITA TOMOKI (理研) ,  NAGO YUSUKE (東京理大) ,  NAGO YUSUKE (理研) ,  ISHIGURO RYOSUKE (日本女大) ,  WATANABE EIICHIRO (物材機構 NFP) ,  OSATO HIROTAKA (物材機構 NFP) ,  TSUYA DAIJU (物材機構 NFP) ,  KASHIWAYA SATOSHI (産業技術総合研) ,  KASHIWAYA HIROMI (産業技術総合研) ,  NOMURA SHINTARO (筑波大) ,  KONO KIMITOSHI (理研) ,  ANWAR Muhammad Shahbaz (京大) ,  MAENO YOSHITERU (京大) ,  TAKAYANAGI HIDEAKI (東京理大) ,  TAKAYANAGI HIDEAKI (物材機構 MANA)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 76th  Page： ROMBUNNO.13A-4A-1  Publication year： Aug. 31, 2015 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electron beam lithography ,  *SQUID ,  eutectic ,  *ruthenium compound ,  *oxoate ,  *strontium compound ,  Ruthenium ,  niobium ,  superconductor ,  *superconducting junction ,  RIE ,  nanometer process ,  ultra low temperature ,  p-wave superconductor ,  *ruthenate

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Josephson junction and elements  (BM04043E) ,  Properties of oxide superconductors  (BM04023I)

Terms in the title (10)： 電子ビーム描画 ,  Sr2RuO4 ,  Ru ,  共晶 ,  作製 ,  Nb ,  微小 ,  DC ,  SQUID ,  開発