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J-GLOBAL ID：201502221442679261   Reference number：15A0348010

精密加工面の分析技術 レーザラマン分光法による加工面の評価

Author (3)： YAMAGUCHI MAKOTO (秋田大) ,  FUJITSUKA MASAYUKI (機械振協 技研) ,  IIZUKA TAMOTSU (機械振協 技研)
Material： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
Volume： 59  Issue： 3  Page： 122-125  Publication year： Mar. 01, 2015 
JST Material Number： L0473A  ISSN： 0914-2703  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： precision machining ,  *machined surface ,  *surface analysis ,  Raman spectrum ,  *Raman spectroscopy ,  Raman laser ,  cutting(machining) ,  grinding ,  micromachining ,  microscopic Raman spectroscopy ,  *stress measurement ,  nanostructure ,  energy ,  nanoindentation ,  development(prosperity) ,  micro structure ,  diamond tool ,  silica glass ,  silicon ,  single crystal ,  amorphous silicon ,  residual stress ,  wafer ,  ultraprecision machining ,  silicon carbide ,  hexagonal system ,  ductility ,  tool wear ,  friction ,  wear
Semi thesaurus term： 4H-SiC ,  Si wafer ,  microstructural evolution ,  laser Raman spectrum ,  ductility cutting ,  *grinding surface ,  light energy ,  *cutting surface ,  monocrystal silicon ,  ultraprecision metal cutting ,  surface micromachining ,  摩擦摩耗

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Manufacturing of glass  (YC02020O)

Terms in the title (6)： 精密加工 ,  分析技術 ,  レーザ ,  ラマン分光法 ,  加工面 ,  評価