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J-GLOBAL ID：201502237718777266   Reference number：15A0486504

Effects of cluster size on calculation of activation energies of silicon surface reactions with H₂ and HCl

H₂およびHClとシリコン表面との反応に関する活性化エネルギーの計算に対するクラスターサイズの効果

Author (4)： KUNIOSHI Nilson (Graduate School of Creative Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, JPN) ,  ANZAI Keisuke (Graduate School of Creative Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, JPN) ,  USHIJIMA Harunobu (Graduate School of Creative Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, JPN) ,  FUWA Akio (Graduate School of Creative Sci. and Engineering, Waseda Univ., 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku 169-8555, Tokyo, JPN)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 418  Page： 115-119  Publication year： May. 15, 2015 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *surface reaction ,  *silicon ,  hydrogen ,  hydrogen chloride ,  *activation energy ,  *cluster ,  length ,  morphology(form) ,  adsorption ,  desorption ,  *dimer ,  reaction mechanism ,  *modeling

JST classification (2)： Other noncatalytic reactions  (CB06070U) ,  Atomic and molecular clusters  (BH09030O)

Terms in the title (6)： H2 ,  HCl ,  シリコン ,  活性化エネルギー ,  計算 ,  クラスターサイズ