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J-GLOBAL ID：201502265861651765   Reference number：15A0598256

Patterned ZrO₂/TiO₂ film in micrometer scale prepared by anodic oxidation of titanium under spark discharge

火花放電アノード酸化によるZrO₂/TiO₂マイクロパターニング膜の作製

Author (2)： HOSOOKA MEI (近畿大 大学院総合理工学研究科) ,  IWASAKI MITSUNOBU (近畿大 大学院総合理工学研究科)
Material： 材料技術  (Material Technology)
Volume： 33  Issue： 2  Page： 23-29  Publication year： Mar. 25, 2015 
JST Material Number： Y0644A  ISSN： 0289-7709  CODEN： MTECFQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pattern formation ,  micromachining ,  fine patterning ,  *zirconium oxide ,  *titanium oxide ,  anodic oxidation ,  anodic oxidation coating ,  spark discharge ,  periodic structure ,  sol-gel process ,  firing (heat treatment) ,  Titanium ,  pure metal ,  metal plate ,  ultraviolet irradiation ,  etching ,  micro structure ,  pure titanium ,  *micro-patterning
Semi thesaurus term： *micro-patterning

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (10)：

• Masuda, Y. Sugiyama, T. Lin, H. Seo, W. S.;Koumoto, K. Thin Solid Films, 382,153 (2001).
• T. Imao, N. Noma and S. Ito, Shikizai Kyokaishi, 79,277 (2006).
• 工藤浩棋,堀川袷志,岩崎光伸,伊藤征司郎,材料技術,第27巻2号,pp.54-59(2009).
• 工藤浩棋,岩崎光伸,伊藤征司郎,表面技術,59(5),340(2008).
• 工藤浩棋,堀川袷志,岩崎光伸,伊藤征司郎,表面技術,60(4),285(2009).

Terms in the title (6)： 火花放電 ,  アノード酸化 ,  ZrO2 ,  TiO2 ,  マイクロパターニング ,  作製