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J-GLOBAL ID：201502281547004122   Reference number：15A0363395

電気化学的手法により作製したメゾスコピック三次元構造体の表面観察

Author (3)： MOTOHASHI MITSUYA (東京電機大 工) ,  SHIMIZU YUKI (東京電機大 工) ,  SUZUKI TOSHIAKI (日本電子)
Material： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
Volume： 52  Issue： 1  Page： 2-5  Publication year： Feb. 20, 2015 
JST Material Number： G0788A  ISSN： 1347-4774  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *mesoscopic system ,  space structure ,  *Microscopy ,  Electrochemistry ,  *silicon ,  *fine patterning ,  scanning electron microscope ,  transmission electron microscope ,  electron diffraction ,  electron gun ,  voltage
Semi thesaurus term： accelerating voltage ,  three-dimensional structure

JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Reference (9)：

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• L. Liu, V. V. Kuryatkov, S. A. Nikishin, H. R. Harris, M. Holtz, J. Vac. Sci. Technol. B, 31, 021801 (2013)

Terms in the title (5)： 電気化学 ,  手法 ,  作製 ,  三次元構造体 ,  観察