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J-GLOBAL ID：201502284569840080   Reference number：15A0505786

Cuキャップ層を持つCo触媒からの固相析出による多層グラフェン形成

Author (6)： SANO SHOTA (芝浦工大) ,  KITAMURA KEITA (芝浦工大) ,  MATSUMOTO YUUSHI (芝浦工大) ,  SAKAI TADASHI (超低電圧デバイス技術研究組合) ,  UENO KAZUYOSHI (芝浦工大) ,  UENO KAZUYOSHI (SITグリーンイノベーション研究セ)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 62nd  Page： ROMBUNNO.11A-P6-8  Publication year： Feb. 26, 2015 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *precipitation (phase separation) ,  cobalt compound ,  transition metal catalyst ,  protective film ,  *graphene ,  electron microscopy ,  thin film growth ,  Copper ,  etching ,  cobalt catalyst ,  Scanning Electron Microscopy ,  *multilayer graphene
Semi thesaurus term： cap-layer ,  *固相析出

JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (7)： Cu ,  キャップ層 ,  CO ,  触媒 ,  固相 ,  析出 ,  多層グラフェン