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J-GLOBAL ID：201502294295862451   Reference number：15A0724115

A Multiple-Microactuator System Using a High-Frequency Pressure Source

高周波数圧力源を使った多重マイクロアクチュエータ

Author (4)： YOSHIDA Kazuhiro (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YAMAMOTO Satoshi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  EOM Sang In (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YOKOTA Shinichi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 27  Issue： 4  Page： 317-328  Publication year： 2015 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： micromachine ,  *microactuator ,  *HF ,  *piezoelectricity ,  pressure device ,  generation ,  fluid
Semi thesaurus term： high frequency ,  *pressure source ,  bimorph ,  *working fluid

JST classification (1)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A)

Reference (10)：

• M. Takeda: Technical Digest of 14th IEEE Int. Conf. Micro Electro Mechanical Systems 2001 (MEMS 2001) (IEEE, 2001) p. 182.
• K. Suzumori, T. Miyagawa, M. Kimura and Y. Hasegawa: IEEE/ASME Trans. Mechatron. 4 (1999) 286.
• Y. Nakazato, Y. Sonobe and S. Toyama: J. Mech. Sci. Technol. 1 (2010) 51.
• K. Yoshida, K. Takahashi and S. Yokota: JSME Int. J., B 43 (2000) 29.
• K. Yoshida and S. Yokota: Preprints 6th Int. Conf. Flow Meas. (FLOMEKO'93) (1993) p. 122.

Terms in the title (4)： 高周波数 ,  圧力源 ,  多重 ,  マイクロアクチュエータ