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J-GLOBAL ID：201503000881548139

赤外線吸収膜およびそれを用いた赤外線検知素子

Inventor： 小室 栄樹 ,  犬伏 和海 ,  松尾 裕 ,  平林 潤 ,  小岩 一郎
Applicant, Patent owner： TDK株式会社
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011206300
Publication number (International publication number)：2013068478
Patent number：5821462
Application date： Sep. 21, 2011
Publication date： Apr. 18, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】下地層上に形成され、銅(Cu)が主成分である赤外線吸収膜であって、前記赤外線吸収膜の表面形状が葉状で、かつ酸化されており、前記葉状部分は酸化第二銅(CuO)で形成され、膜厚方向において表面から下地層との界面までの領域は酸化第二銅(CuO)、酸化第一銅(Cu2O)、銅(Cu)の混合状態で形成され、さらに前記下地層との界面には密着層が存在し、前記葉状部分から前記下地層との界面にかけてCuの酸化数が減少し、前記下地層との界面付近には酸化していないCuが一部分存在し、前記下地層との界面付近が多孔質であって、前記赤外線吸収膜と前記下地層上の密着層とは部分的に接触しており、前記下地層上の前記密着層と接触している面積が前記赤外線吸収膜全体の面積に対して20パーセント以上であることを特徴する、赤外線吸収膜。

IPC (2)：

G01J 1/02 ( 200 6.01) ,  C09K 3/00 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01J 1/02 C ,  C09K 3/00 105

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公昭62-001513
  
• 赤外線検出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-102396   Applicant：松下電工株式会社
• 特公昭61-038783