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J-GLOBAL ID：201503010100414111

管状体内にプラズマを発生させる発生装置

Inventor： 大竹 尚登 ,  井上 雅貴
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東京工業大学
Agent (6)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  蛯谷 厚志 ,  小林 良博 ,  田崎 豪治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014021338
Publication number (International publication number)：2015147974
Application date： Feb. 06, 2014
Publication date： Aug. 20, 2015
Summary：

【課題】本発明によれば、円管等の管状体の長さに影響されることなく,長尺の円管内面にもDLCの成膜が可能となり、様々な径,アスペクト比の管状体内面へのDLC成膜がバッチ処理で可能となるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】管状体;管状体の中空部分に挿入された金属電極;管状体の中空部分に原料を導入するための原料導入口;ならびにパルス電圧を印加するためのナノパルス電源;を備え、管状体は陰極を形成し、そして金属電極は陽極を形成してなる、ことを特徴とする管状体内にプラズマを発生させる発生装置。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

管状体; 管状体の中空部分に挿入された金属電極; 管状体の中空部分に原料を導入するための原料導入口;ならびに パルス電圧を印加するためのナノパルス電源; を備え、 管状体は陰極を形成し、そして金属電極は陽極を形成してなる、 ことを特徴とする管状体内にプラズマを発生させる発生装置。

IPC (2)：

C23C 16/27 ,  H05H 1/24

FI (2)：

C23C16/27 ,  H05H1/24

F-Term (12)：

4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA16 ,  4K030BA28 ,  4K030CA02 ,  4K030CA16 ,  4K030JA11 ,  4K030JA18 ,  4K030KA15 ,  4K030KA18 ,  4K030KA32 ,  4K030KA46