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J-GLOBAL ID：201503012363991328

非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ

Inventor： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
Applicant, Patent owner： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
Agent (1)： 杉村 憲司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014210649
Publication number (International publication number)：2015110214
Application date： Oct. 15, 2014
Publication date： Jun. 18, 2015
Summary：

【課題】本発明は、非蒸発型ゲッタ材の気体の吸着速度を高めること、非蒸発型ゲッタポンプの製造コスト及び修理コストを低減すること、並びに非蒸発型ゲッタポンプの排気速度を高めることを目的とする。【解決手段】網目状構造を有することを特徴とする非蒸発型ゲッタ材、該非蒸発型ゲッタ材を含むことを特徴とする非蒸発型ゲッタモジュール、該非蒸発型ゲッタ材又は該非蒸発型ゲッタモジュールを含むことを特徴とする非蒸発型ゲッタポンプ。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

網目状構造を有することを特徴とする、非蒸発型ゲッタ材。

IPC (3)：

B01J 20/28 ,  F04B 37/04 ,  F04B 37/02

FI (3)：

B01J20/28 A ,  F04B37/04 ,  F04B37/02 A

F-Term (19)：

3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076BB40 ,  3H076BB45 ,  3H076CC52 ,  3H076CC55 ,  4G066AA02B ,  4G066BA01 ,  4G066BA05 ,  4G066BA22 ,  4G066BA26 ,  4G066BA38 ,  4G066CA01 ,  4G066DA01 ,  4K018AA06 ,  4K018AA07 ,  4K018CA33 ,  4K018DA12 ,  4K018KA22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 高多孔質非蒸発性ゲッター材料とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-337693   Applicant：サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ