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J-GLOBAL ID：201503015544132190

研磨材および研磨方法

Inventor： 赤上 陽一 ,  久住 孝幸 ,  中村 竜太 ,  川原 浩一 ,  鈴木 俊正 ,  須田 聖一 ,  齊藤 伸英
Applicant, Patent owner： 秋田県 ,  一般財団法人ファインセラミックスセンター ,  株式会社 斉藤光学製作所
Agent (3)： 福田 賢三 ,  福田 伸一 ,  加藤 恭介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014054845
Publication number (International publication number)：2015174985
Application date： Mar. 18, 2014
Publication date： Oct. 05, 2015
Summary：

【課題】電界印加研磨技術に特化した研磨材であり、高い電界印加効果を実現することができる研磨材及び研磨方法の提供。【解決手段】研磨定盤と被研磨部材との間に供給されると共に電圧が印加され、電圧によって生じた電界によって研磨定盤と被研磨部材との間に引き寄せられる砥粒及び分散媒が含まれた研磨材において、誘電率が分散媒よりも高いコア材料を、被研磨部材に対する単位時間当たりの研磨量(研磨レート)がコア材料よりも高いシェル材料で被覆した複合化研磨材。前記コア材料がチタン金属複合酸化物であり、SrTiO3及び/又はBaTiO3であり、シェル材料は酸化物、炭化物、窒化物、硼化物、ダイヤモンドから選択される一種又は二種以上の材料である【選択図】図3

Claim (excerpt)：

研磨定盤と被研磨部材との間に供給されると共に電圧が印加され、電圧によって生じた電界によって前記研磨定盤と前記被研磨部材との間に寄せられる砥粒および分散媒が含まれた研磨材において、 前記砥粒が、コア材料と、このコア材料を被覆するシェル材料とから構成され、 前記砥粒の誘電率が前記分散媒よりも高く、 前記被研磨部材に対する単位時間当たりの研磨量が、前記コア材料よりも前記シェル材料の方が高い、 ことを特徴とする研磨材。

IPC (3)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 1/00

FI (3)：

C09K3/14 550C ,  H01L21/304 621D ,  B24B1/00 A

F-Term (18)：

3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AA16 ,  3C049CA04 ,  3C049CA05 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  5F057AA14 ,  5F057AA23 ,  5F057BA12 ,  5F057BB09 ,  5F057CA19 ,  5F057DA04 ,  5F057EA01 ,  5F057EA11 ,  5F057EA28 ,  5F057EB21

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第6297159号
  
• 研磨用粒子および研磨材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-087739   Applicant：触媒化成工業株式会社