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J-GLOBAL ID：201503015883516819

荷電粒子線装置

Inventor： 重藤 訓志 ,  佐藤 貢 ,  飯泉 紀子 ,  能田 弘行 ,  西村 雅子 ,  渡邉 俊哉 ,  許斐 麻美 ,  富田 真一 ,  多持 隆一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (3)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2014162024
Publication number (International publication number)：2014239063
Patent number：5799147
Application date： Aug. 08, 2014
Publication date： Dec. 18, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 試料上に荷電粒子線を集束させる対物レンズと、 X方向の非点を調整するX方向非点補正器と、 Y方向の非点を調整するY方向非点補正器と、 前記対物レンズのフォーカス条件、並びに前記X方向非点補正器のX方向非点補正条件、及び前記Y方向非点補正器のY方向非点補正条件を制御する制御部と、 ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件、並びに前記X方向非点補正条件、及び前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、を備える荷電粒子線装置において、 フォーカス条件、X方向非点補正条件及びY方向非点補正条件の調整手順が限定されている、フォーカス調整及び非点調整の練習機能を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  H01J 37/24 ( 200 6.01) ,  H01J 37/153 ( 200 6.01) ,  H01J 37/21 ( 200 6.01)

FI (4)：

H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/24 ,  H01J 37/153 B ,  H01J 37/21 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 二次元画像の類似性を測定するための方法および電子顕微鏡
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2009-524070   Applicant：フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
• 顕微鏡シミュレータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107792   Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (2)

• 二次元画像の類似性を測定するための方法および電子顕微鏡
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2009-524070   Applicant：フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
• 顕微鏡シミュレータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107792   Applicant：株式会社ニコン