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J-GLOBAL ID：201003081867527687

二次元画像の類似性を測定するための方法および電子顕微鏡

Inventor：
トゥースト・アンドレアス

About トゥースト・アンドレアス

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バーテル・ユリ

About バーテル・ユリ


Applicant, Patent owner：
フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

About フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング


Agent (3)： 江崎 光史 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009524070
Publication number (International publication number)：2010500726
Application date： Jul. 25, 2007
Publication date： Jan. 07, 2010
Summary：
本発明は、2つの二次元画像の類似性を測定するための方法に関し、該方法では、少なくとも1つの画像に付加信号が付随しており、この付加信号の位置依存性又は対称性が、少なくとも近似的に既知である。本発明では、少なくとも1つの部分画像の、付加信号の勾配の方向における拡がりが、この部分画像の、前記方向に対する垂直方向における拡がりよりも小さくなるように、画像が、相互に同一である部分画像に分割される。部分画像は、個別に比較され、全ての比較の結果が、類似性に関する測定結果に集約される。これにより、本方法は、付加信号の変動の影響を受けなくなる。本方法は、特に、電子顕微鏡画像の焦点外れ及び非点収差を決定するために適している。その際、重要であるのは、実験で測定された画像と、焦点外れ及び非点収差に関する所定の値を用いて生成されたシミュレートされた画像との類似性を比較することである。
Claim (excerpt)：
強度値を有するピクセルで構成された2つの二次元画像の類似性を測定するための方法であって、少なくとも1つの画像に付加信号が付随しており、以下のステップ、すなわち、 -少なくとも1つの部分画像の、前記付加信号の勾配の方向における拡がりが、この部分画像の、前記方向に対する垂直方向における拡がりよりも小さくなるように、前記画像を相互に同一である部分画像に分割するステップと、 -相互に対を成す部分画像を互いに比較するステップと、 -これらの比較の結果を、前記両画像の類似性に関する総合尺度に集約するステップとを有する方法。
IPC (3)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/21
FI (4)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/22 502C ,  H01J37/153 B ,  H01J37/21 B
F-Term (2)：
5C033JJ01 ,  5C033MM05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (7)
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