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J-GLOBAL ID：201503018320123992
薄膜蛍光体及びその成膜方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清原 義博
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009169617
Publication number (International publication number)：2011021159
Patent number：5793723
Application date： Jul. 18, 2009
Publication date： Feb. 03, 2011
Claim (excerpt)：
【請求項1】 酸化亜鉛結晶を基本結晶とする薄膜と、
前記薄膜に還元性雰囲気のもと、この膜がエッチングされない温度で加熱することにより、前記薄膜上に結晶を再成長させた自己触媒性の多角柱状ナノ構造体を有することを特徴とする薄膜蛍光体。
IPC (3)：
C09K 11/54 ( 200 6.01)
, C09K 11/00 ( 200 6.01)
, C09K 11/08 ( 200 6.01)
C09K 11/54 CPB
, C09K 11/00 A
, C09K 11/08 A
