プラズマ窒化装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 高橋俊一 , 伊藤正和 , 高松俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013260995
Publication number (International publication number)：2015117405
Application date： Dec. 18, 2013
Publication date： Jun. 25, 2015
Summary：

【課題】窒化表面処理時の製造コストを抑制することが可能なプラズマ窒化装置を提供する。【解決手段】プラズマ窒化装置は、表面処理領域2を含む被処理体1の一部を収容する処理槽11を含み、処理槽11の内部で処理ガス30のプラズマによる表面処理領域2の窒化処理を行う表面処理部10と、処理ガス30が供給され、被処理体1と処理槽11とを、被処理体1の前記一部以外の部位が処理槽11から露出した状態で収容する外部容器20とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

表面処理領域を含む被処理体の一部を収容する処理槽を含み、前記処理槽の内部で処理ガスのプラズマによる前記表面処理領域の窒化処理を行う表面処理部と、前記処理ガスが供給され、前記被処理体と前記処理槽とを、前記被処理体の前記一部以外の部位が前記処理槽から露出した状態で収容する外部容器とを備えることを特徴とするプラズマ窒化装置。

IPC (1)：

C23C 8/36

FI (1)：

C23C8/36

F-Term (2)：

4K028BA02 , 4K028BA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-213460
金属帯の連続プラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-295135 Applicant：川崎製鉄株式会社
特公昭35-017303

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