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J-GLOBAL ID：201503028345694166

単結晶ダイヤモンドの製造方法

Inventor： 野口 仁 ,  竹内 大輔 ,  山崎 聡 ,  小倉 政彦 ,  加藤 宙光 ,  牧野 俊晴 ,  大串 秀世
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  信越化学工業株式会社
Agent (1)： 好宮 幹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013194539
Publication number (International publication number)：2015059069
Application date： Sep. 19, 2013
Publication date： Mar. 30, 2015
Summary：

【課題】気相合成によって得られた単結晶ダイヤモンド種基板に気相合成単結晶ダイヤモンドを安定して追加堆積させ、高品質な単結晶ダイヤモンドを製造する方法を提供する。【解決手段】気相合成によって得られた単結晶ダイヤモンド種基板に気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる単結晶ダイヤモンドの製造方法であって、(1)種基板の平坦度を測定する工程、(2)平坦度の測定結果に基づいて種基板の平坦化を行うか否かを判定する工程、(3)下記の2工程のうちいずれか1工程、(3a)判定に基づき、平坦化が必要な種基板は平坦化を行った後、気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる工程、(3b)判定に基づき、平坦化が不要な種基板は平坦化を行わず、気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる工程、を有することを特徴とする単結晶ダイヤモンドの製造方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

気相合成によって得られた単結晶ダイヤモンド種基板をステージに載せ気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる単結晶ダイヤモンドの製造方法であって、 (1)前記気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる前の前記単結晶ダイヤモンド種基板の平坦度を測定する工程、 (2)前記平坦度の測定結果に基づいて前記単結晶ダイヤモンド種基板の平坦化を行うか否かを判定する工程、 (3)下記の2工程のうちいずれか1工程、 (3a)前記判定に基づき、前記平坦化が必要な前記単結晶ダイヤモンド種基板は平坦化を行った後、前記気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる工程、 (3b)前記判定に基づき、前記平坦化が不要な前記単結晶ダイヤモンド種基板は平坦化を行わず、前記気相合成単結晶ダイヤモンドを追加堆積させる工程、 を有することを特徴とする単結晶ダイヤモンドの製造方法。

IPC (4)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/511 ,  C01B 31/06

FI (4)：

C30B29/04 A ,  C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  C01B31/06 A

F-Term (46)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB07 ,  4G077DB19 ,  4G077ED06 ,  4G077EE05 ,  4G077EF01 ,  4G077TA04 ,  4G077TC12 ,  4G077TK01 ,  4G077TK08 ,  4G146AA04 ,  4G146AB07 ,  4G146AD01 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC07 ,  4G146BC09 ,  4G146BC16 ,  4G146BC27 ,  4G146BC33B ,  4G146BC37B ,  4G146BC38B ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030BB02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA12 ,  4K030DA02 ,  4K030DA08 ,  4K030EA03 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA05 ,  4K030JA07 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030JA11 ,  4K030JA16 ,  4K030JA17 ,  4K030JA18 ,  4K030KA30 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15